[5p-PA2-1~29] 12.1 作製・構造制御

△ [5p-PA2-24] 原子ステップ型ポリマー基板を用いた有機・無機ハイブリッド構造の作製

〇岩佐 健¹、木下 太一郎¹、中村 稀星¹、金子 智^2,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川県産総研)

キーワード：熱ナノインプリント、ポリイミド、機能性薄膜

我々はこれまでに，単原子ステップを有するサファイアをモールドとした熱ナノインプリント法により，高さ約0.3 nmの周期的原子スケールステップ配列をポリマーシートに転写してきた。一方で，機能性無機薄膜をフレキシブル基板上に成長させることで，微細構造上の結晶成長や形状特性制御に関する知見が寄与できる。本研究では，ポリマー基板表面への機能性薄膜の成長，アニール処理によるナノ形状に与える影響について検討した。