[5p-PB1-1~13] 3.13 半導体光デバイス

[5p-PB1-6] 面発光レーザとスローライト光増幅器の高効率結合集積化

〇(B)鷹箸 雅司¹、小山 二三夫¹、中濵 正統¹ (1.東工大)

キーワード：面発光レーザ

ものづくりの現場で用いられるレーザ加工やLiDARなどの光センサのために，高出力かつ高ビーム品質のレーザが求められている．現在，外部光源を用いてスローライト半導体光増幅器(SOA)での260mWの出力を達成しており，小型化などの観点から光源との集積が望ましい．VCSELとSOAは同一の層構造を持つことから横方向の集積が可能であるが，低い光結合効率が課題となっている．本報告では，光結合向上のための新な横方向集積構造の提案を行った．