2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[5p-S41-1~20] 7.2 電子ビーム応用

2017年9月5日(火) 13:15 〜 18:45 S41 (第1会議室)

川崎 忠寛(JFCC)、石川 信博(物材機構)、永井 滋一(三重大)

18:00 〜 18:15

[5p-S41-18] 酸素導入による金属ホウ化物熱陰極への影響

小林 敬也1、横山 智哉1、村田 英一1、六田 英治1、下山 宏1、安田 洋2 (1.名城大理工、2.(株)PARAM)

キーワード:電子線リソグラフィー、熱電子銃、酸素導入