[5p-S41-1~20] 7.2 電子ビーム応用

[5p-S41-19] マルチエミッタ評価装置によるボルケーノ構造スピント型エミッタの個々の動作チップの放出電流測定

〇田口 広大¹、村田 英一¹、六田 英治¹、下山 宏¹、長尾 昌善²、村上 勝久² (1.名城大理工、2.産総研)

キーワード：フィールドエミッタアレイ、マルチエミッタ評価装置、光電子顕微鏡