[5p-S41-1~20] 7.2 電子ビーム応用

△ [5p-S41-8] 走査電子顕微鏡内におけるフレア電子の電流分布測定

〇萩原 佳史¹、森本 健太郎¹、伊藤 優花¹、小寺 正敏¹ (1.大阪工大)

キーワード：走査電子顕微鏡、電子ビーム、フォギング電子

従来から電子ビーム照射による局所的な試料内部の散乱や試料表面から放出された電子が試料室内で多重散乱することによって作られるフォギング電子については議論されてきたが、対物レンズより以前の光学系で生成されたと思われる電子が電子ビーム照射点から数cmも離れた部分に広がっていることについては、ほとんど議論されてこなかった。このような電子を我々はフレア電子と呼び、この影響を実験的に解析している。