[5p-S42-1~15] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

△ [5p-S42-1] Fabrication of Medical Stent Using Synchronous Scan-Projection Lithography and Chemical Etching

〇Kaiki Ito¹, Yuta Suzuki¹, Toshiyuki horiuchi¹ (1.Tokyo Denki Univ.)

Keywords:lithography, pipe, stent

先行研究により直径2mmのステンレス管表面に走査投影露光装置を用いて線幅250µmの網目レジストパターンを形成し、化学エッチングをすることで線幅230μmの網目マイクロ部品を製作できることを示した^。本研究では、ステントへの応用を目標に線幅を110μmに細くし、径方向に伸縮可能な形状の部品を製作した。