[6a-A412-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[6a-A412-7] ナノダイヤモンド薄膜を用いた電流センシング

〇内山 晴貴¹、岸本 茂¹、大野 雄高^1,2 (1.名大工、2.名大未来研)

キーワード：窒素空孔中心、ダイヤモンド

ダイヤモンド中の窒素空孔中心(NVC)は室温で磁場の高分解能・高感度センシングが可能である。
ナノダイヤモンド(ND)は、水に分散し塗布することにより薄膜を形成することが可能であり、様々なデバイスの動作解析に適応できる可能性がある。本研究では、NVCを含むND薄膜を金属配線上に形成し、光検出磁気共鳴法(ODMR)により、配線中を流れる電流の検出を行った。