講演情報

Tweet

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[6a-A503-1~13] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2017年9月6日(水) 09:00 〜 12:30 A503 (503)

永井勇太(ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙｳｪｰﾊｽﾞ･ｼﾞｬﾊﾟﾝ)、竹内正太郎(阪大)

11:00 〜 11:15

[6a-A503-8] シリコン結晶成長の点欠陥の発生と消滅に関する一考察(2)：格子間原子の発生機構

〇阿部孝夫¹、高橋徹¹、白井光雲² (1.信越半導体、2.阪大　産研)

キーワード：点欠陥