[6a-C21-1~12] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[6a-C21-8] In Situ AFM観察されたAuナノチャネルにおけるエレクトロマイグレーション中の発熱温度の進展

〇八木 麻実子¹、白樫 淳一¹ (1.東京農工大院工)

キーワード：エレクトロマイグレーション、原子間力顕微法、ナノワイヤー