[6a-PA3-1~23] 3.9 テラヘルツ全般

△ [6a-PA3-3] 共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器のアンテナ電極厚膜化による1.98 THz基本波発振

〇(M1)泉 龍之介¹、鈴木 左文¹、浅田 雅洋¹ (1.東工大)

キーワード：テラヘルツ、共鳴トンネルダイオード、RTD

我々は、共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器のスロットアンテナを厚膜化し、アンテナ電極の導電損失を低減することにより、周波数向上を達成したので報告する。アンテナ電極の厚さを 0.1 μmから順に1 μm, 2 μm, 3 μmと段階的に増加させ、それぞれについて発振周波数を測定したところ、電極厚さ2 μmで最高発振周波数1.98 THzが得られた。 これは現在報告されている中では室温単体電子デバイスにおける最高発振周波数である。