[6a-PA8-1~4] 7.5 イオンビーム一般

[6a-PA8-2] 透過電子顕微鏡法によるMgイオン注入Siの局所構造解析

小林 勇輝¹、〇内藤 宗幸¹、Bachelet C²、Bourcois J² (1.甲南大理工、2.CSNSM)

キーワード：Mgシリサイド、透過電子顕微鏡