2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

[6p-A503-1~12] 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2017年9月6日(水) 13:45 〜 17:00 A503 (503)

大野 裕(東北大)、仮屋崎 弘昭(グローバルウェーハズ・ジャパン)、中川 聰子(グローバルウェーハズ・ジャパン)

14:00 〜 14:15

[6p-A503-2] 電子線照射発光活性化液体窒素温度PL法によるP添加n型CZ-Si結晶の炭素定量

石川 陽一郎1、田島 道夫1、木内 広達1、小椋 厚志1、宮村 佳児2、原田 博文2、柿本 浩一2 (1.明治大理工、2.九州大工)

キーワード:炭素定量