[6p-C24-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

[6p-C24-2] ファブリ・ペロー干渉計によるマイクロ片持ち梁熱振動の計測

〇辻家 祐介¹、日野 史也²、丸林 真也²、河村 良行^1,2 (1.福岡工大院工、2.福岡工大工)

キーワード：マイクロ片持ち梁、ファブリ・ペロー干渉計、熱振動

マイクロ片持ち梁の熱振動は，プローブ顕微鏡の計測限界の一つとなりうる．熱振動の高性能な制振には，高感度な計測が必要となる．本研究では，新たにファブリ・ペロー干渉計を用いることで，従来より高感度な熱振動計測を実現した．