[6p-PB1-1~8] 9.1 誘電材料・誘電体

[6p-PB1-5] 塗布法による高耐熱性フレキシブルZnO圧電シートの作製

〇長瀬 智美¹、野中 一洋¹、石田 秀一¹、田原 竜夫¹、秋山 守人¹、佐藤 寧^1,2 (1.産総研、2.九工大)

キーワード：圧電体、フレキシブル、塗布法

フレキシブル圧電シートは、その柔軟性を生かした新たなセンシング技術開発をもたらすと注目されている。しかし、代表的な高分子圧電体PVDFは、その耐熱性が低いため応用範囲は限定される。本研究では、柔軟性と高耐熱性を両立する圧電シート開発のため、大面積化と低コスト化に有利な塗布法により、ポリイミド基材直上にZnO圧電膜の成膜を試み、120℃の耐熱性を示すZnO圧電シートの作製に成功した。