[6p-PB2-1~15] 9.4 熱電変換

[6p-PB2-10] a-SiGe:Au薄膜におけるAu凝集体の制御

〇足立 真寛¹、徳田 一弥¹、斎藤 吉広¹、木山 誠¹、上松 康二¹、山本 喜之¹、西野 俊佑²、Omprakash Muthusamy²、竹内 恒博² (1.住友電工、2.豊田工大)

キーワード：熱電材料、ナノ構造

熱電材料の性能指数（ZT）は、数十年ZT～1-2であるのに対し、自動車排熱発電の要求はZT>4である。我々は、このギャップをナノ構造の精密制御で打破すべく、熱処理でナノ結晶を作製可能なアモルファスSiGe:Au薄膜材料に着目し、SiGeナノ結晶のサイズ制御を行っている。
今回、熱処理の過程において、SiGeナノ結晶の形成を促進する添加材のAuが凝集することが見出された。そのAu凝集体を解析し、制御する手法について検討した結果を報告する。