[7a-PA5-1~22] 3.8 光計測技術・機器

△ [7a-PA5-8] シングルピクセル回折位相顕微鏡の提案

〇荒木 洋之¹、澁谷 九輝¹、岩田 哲郎¹ (1.徳島大院)

キーワード：定量位相イメージング、シングルピクセルイメージング、薄膜計測

本報告では，定量位相イメージング法の一つである回折位相顕微鏡 (diffraction phase microscopy: DPM)に微弱光下でのイメージングが可能なシングルピクセルイメージング (SPI) 法との併用を試みる．SPIでは，高速かつ高感度な光検出器を用いることができるだけでなく，空間多重化による画質向上も期待できる．さらに，必要に応じてロックイン検出法を導入しSN比の向上を図ることもできる．本報告では，シングルピクセル回折位相顕微鏡 (SPI-DPM) の提案と原理検証実験の結果を示す．