[7p-A201-1~10] 転位研究の最前線 ～材料を越えた視点から見えてくるもの～

△ [7p-A201-6] Si中ミスフィット転位のバーガースベクトル決定に有効な多波回折明視野Ｘ線トポグラフィ

〇(M2)鶴丸 哲也¹、水落 博之¹、鎌本 春花¹、津坂 佳幸^1,2、篭島 靖^1,2、松井 純爾² (1.兵庫県大院物質理学、2.兵庫県大・放射光ナノテクセンター)

キーワード：Ｘ線トポグラフィ、転位

明視野Ｘ線トポグラフィは、回折光の代わりに透過光を用いることで転位像を大きな変形なく撮影できる手法である。これに加え、今回の実験ではシリコンのミスフィット転位として知られるa/2<110>のバーガースベクトルの決定に必要な回折を多波回折の条件のもとで採用した。これにより各回折による転位像の変形も微小に抑えられ、本手法がバーガースベクトルの決定に有利な測定手法となる。