[7p-A204-1~14] 【CS.7】6.1 強誘電体薄膜,13.3 絶縁膜技術,13.5 デバイス／集積化技術のコードシェアセッション

[7p-A204-14] 低消費電力応用に向けた強誘電体HfO₂薄膜不揮発性SRAMの動作実証

〇小林 正治¹、上山 望¹、平本 俊郎¹ (1.東大生研)

キーワード：不揮発性、SRAM、強誘電体