[7p-A402-7~23] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [7p-A402-18] ラジカル注入型プラズマ励起化学気相堆積法においてRFバイアス時間変調がアモルファスカーボン膜の結合構造に及ぼす効果

〇杉浦 啓嗣¹、近藤 博基¹、石川 健治¹、堤 隆嘉¹、竹田 圭吾²、関根 誠¹、堀 勝³ (1.名大院工、2.名城大理工、3.名大未来社会創造機構)

キーワード：PECVD、アモルファスカーボン、DLC