2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[7p-A411-1~17] 1.5 計測技術・計測標準

2017年9月7日(木) 13:15 〜 18:00 A411 (411)

寺崎 正 (産総研)、菊永 和也 (産総研)、徳留 弘優(TOTO)

13:15 〜 13:30

[7p-A411-1] 波高分析式質量測定型液中粒子計数装置を用いた600 nm 領域までの粒子数濃度標準の拡張

坂口 孝幸1 (1.産総研物質計測標準)

キーワード:粒子数濃度、不確かさ、一次標準

産総研では、濃度範囲 5×102 個/g - 2×106 個/g、粒径範囲2 µm - 20 µm を校正対象としている液中粒子数濃度一次標準の適用下限を直径600nmへ拡大する開発を行っている。
液中粒子計数装置を用いた600 nm粒径試料の測定結果では、濃度 2899 個/mg、拡張不確かさ 68 個/mgが得られた。不確かさの主要部分は、一定量の懸濁液中に含まれる粒子数の統計的ばらつきおよび擬計数によるものであった。妥当性評価として行った、質量校正式顕微鏡法での結果、濃度 2900 個/mg、拡張不確かさ 24 個/mgと、不確かさの範囲内で一致することが確認された。