[7p-A412-1~12] 6.2 カーボン系薄膜

△ [7p-A412-8] タングステンカーバイド中間層を用いた水素フリーDLC膜の密着性改善

〇磯野 凌¹、谷本 壮¹、飯島 佑史¹、針谷 達¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、神谷 雅男²、金子 智³、瀧 真⁴ (1.豊橋技科大、2.伊藤光学、3.神奈川県立産総研、4.オンワード技研)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン膜、タングステンカーバイド膜、フィルタードアーク蒸着法

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は，基板との密着性に課題がある。本研究では，DLC膜の中間層としてタングステンカーバイド膜（W-C膜）を導入し，DLC膜の密着性を評価した。膜厚30 nmのW-C膜を中間層として，膜厚 300 nmのa-Cおよびta-C膜を作製した。a-C膜では，中間層の有無に関わらず剥離は見られなかった。ta-C膜では，中間層の導入により密着性の向上が見られた。