[7p-C17-1~16] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[7p-C17-10] SiドープとSiイオン注入単結晶酸化ガリウム結晶の光学的特性

〇尾沼 猛儀^1,2、佐々木 公平^3,2、増井 建和³、山口 智広¹、本田 徹¹、倉又 朗人³、東脇 正高² (1.工学院大、2.情通機構、3.タムラ製作所)

キーワード：酸化ガリウム、光物性、Si ドーピング

本講演では、SiドープとSiイオン注入された酸化ガリウム単結晶基板の光学的特性を比較した結果を報告する。