[7p-PA7-1~25] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[7p-PA7-18] ミストデポジション法による界面活性剤フリーITOナノ粒子膜の開発

〇西 康孝¹、中積 誠¹、鈴木 涼子¹、蟹江 澄志²、村松 淳司² (1.ニコン、2.東北大)

キーワード：ナノ粒子、ITO