2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[7p-PA9-1~9] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2017年9月7日(木) 16:00 〜 18:00 PA9 (国際センター1F)

16:00 〜 18:00

[7p-PA9-8] Ge/AuSb積層膜のアニールによるGe結晶薄膜表面の平坦化

〇(M1)近藤 匠1、神子 公男2、弓野 健太郎1,3 (1.芝浦工大、2.東大生研、3.SIT グリーンイノベーション研究センター)

キーワード:半導体、平坦化、MIC