[7p-PB2-1~9] 6.6 プローブ顕微鏡

[7p-PB2-4] 水晶振動子力センサーを用いた高湿度大気環境でのFM-AFM計測

〇(P)大江 弘晃¹、新井 豊子¹ (1.金大理工)

キーワード：周波数変調原子間力顕微鏡、高湿度大気環境

本講演では、我々が新たに構築した高湿度大気環境で駆動するFM-AFMについて発表する。
本研究で使用するFM-AFMは、大気環境で生じる固体表面への水の吸着を制御するために、加湿と試料の温度制御を行う。
また、大気環境で固体−水界面を安定に走査するために、音叉型水晶振動子を素材とした2種類の力センサー、Retuned fork(RTF)センサーとqPlusセンサーを利用する。