2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[8a-A202-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2017年9月8日(金) 09:00 〜 12:00 A202 (202)

丸山 伸伍(東北大)

09:45 〜 10:00

[8a-A202-4] ミスト CVD 法による Cu2O 薄膜の作製と評価

若島 涼1、河合 俊和1、池之上 卓己1、三宅 正男1、平藤 哲司1 (1.京大院エネ科)

キーワード:半導体、亜酸化銅、ミストCVD法