[8a-A301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[8a-A301-1] MBEによる(0001)サファイア基板上BN薄膜成長

〇小林 康之¹、木村 拓磨¹、中澤 日出樹¹、岡本 浩¹、廣木 正伸²、熊倉 一英² (1.弘前大学、2.NTT物性基礎研)

キーワード：窒化ホウ素、分子線エピタキシー

(0001)サファイア基板上に、プラズマ支援MBEによりBN薄膜を成長した。X線反射率プロファイルから、BN薄膜の膜厚は10.6 nmであり、AFM観察から、BN薄膜表面は平坦であることがわかった。FTIR吸収スペクトルは、MBEにより(0001)サファイア基板上にsp²結合を有するBN薄膜が得られたことを示している。