[8a-A301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[8a-A301-5] BGaN-MOVPEにおけるB有機金属原料の検討

〇望月 健¹、中村 匠¹、青木 徹²、井上 翼¹、小島 一信³、秩父 重英^3,4、中野 貴之¹ (1.静大院工、2.静大電研、3.東北大多元研、4.名大IMaSS)

キーワード：BGaN、MOVPE、中性子検出器