[8a-A502-1~12] 12.7 医用工学・バイオチップ

[8a-A502-9] ナノ結晶塗布薄膜を利用した抵抗変化型呼気検出センサ

〇加納 伸也¹、藤井 稔¹ (1.神戸大院工)

キーワード：呼吸、ナノ結晶、ナノ粒子

呼吸は人間の健康状態を表す重要なバイタルサインのひとつである。呼吸による胸部の容量変
化をインピーダンス変化で読み取ることで、一般に呼吸検知を電気的に行っている。今回我々は、
ナノスケールの結晶（ナノ結晶）を塗布した薄膜を利用した、抵抗変化型の呼気検出センサを提
案する。表面が酸化したシリコンナノ結晶塗布薄膜の電気伝導度は、環境の湿度に依存すること
がわかっている。本発表では、シリコンナノ結晶塗布薄膜を流れる電流の、湿度変化に対する応
答を評価する。さらに、その塗布薄膜を利用した呼気検出センサを示す。