[8a-A504-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[8a-A504-5] エピタキシャルPZT膜におけるマルチドメイン構造と面内歪の緩和

〇(M2)佐藤 智也¹、一ノ瀬 大地¹、三村 和仙¹、清水 荘雄¹、山田 智明²、舟窪 浩¹ (1.東工大、2.名古屋大)

キーワード：PZT、ドメイン構造、面内歪

PZT膜の引張歪側におけるドメイン構造と面内歪の緩和についての解析を行った。(200)面における面内のXRD回折図形より、常誘電体相から強誘電体相の相転移する際に最初に形成されるKTaO₃[100]からα傾いたa1/a2ドメインと、更に低温で応力緩和のため新たに形成されたcドメインとそれに付随したaドメインが観測された。またこのaドメインはa1/a2ドメインよりも緩和されていることが示された。