[8a-C18-1~12] 13.5 デバイス／集積化技術

△ [8a-C18-12] 大規模NBDマップの解析により明らかにする個々の多結晶SiナノワイヤTFT中の粒界構造と素子特性との対応関係

〇浅野 孝典¹、高石 理一郎¹、小田 穣¹、佐久間 究¹、齋藤 真澄¹、田中 洋毅¹ (1.東芝研究開発センター)

キーワード：TFT、粒界、NBD