[8a-PA2-1~17] 6.4 薄膜新材料

[8a-PA2-1] ボロメータ型赤外線センサのためのニオブ・タングステンドープ酸化バナジウム膜の形成

北野 玲¹、西 純平¹、萩原 敦¹、〇氷室 貴大¹、齋藤 洋司¹ (1.成蹊大院理工)

キーワード：ボロメータ、相転移、酸化バナジウム

ボロメータ型センサなどに用いられる二酸化バナジウム（VO₂）中にニオブ（Nb） とタングステン（W）を添加することにより、比較的高い抵抗温度係数（TCR）を維持しつつ相転移温度の低い材料を開発し、赤外線センサ材料として高い性能を有するVO₂膜の形成を試みた。本稿では、電気的特性の不純物ドープ依存性を評価し、赤外線センサ材料に最適な不純物ドープ量を検討した結果について報告する。