[8a-PA4-1~31] 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[8a-PA4-2] UHVスパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長

〇小倉 康平¹、信太 智貴¹、水野 愛¹、安藤 毅¹、篠田 宏之¹、六倉 信喜¹ (1.東京電機大工)

キーワード：ZnO、スパッタリング