[8a-PA4-1~31] 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[8a-PA4-28] 分子プレカーサ法によるβ-Ga₂O₃薄膜の作製

〇安田 隆¹、柴田 晃良¹ (1.石専大理工)

キーワード：酸化ガリウム、分子プレカーサー、塗布技術

分子プレカーサー液を原料として，β-Ga₂O₃ 薄膜結晶を塗布技術を用いて作製・評価する。