[8a-PB4-1~20] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[8a-PB4-1] 粉体ターゲットによる燃料電池用多元素薄膜の作製

〇川崎 仁晴¹、吉野 光¹、大島 多美子¹、柳生 義人¹、猪原 武士¹、篠原 正典¹、野尻 能弘¹ (1.佐世保高専)

キーワード：粉体ターゲット、プラズマプロセス、スパッタ成膜法

粉体ターゲットを用いたプラズマプロセス法で、一室型SOFCに利用できる固体電解質を試作し、その性質を調べるとともに、それを用いた燃料電池の作製を試みた。作製した薄膜をSEMで解析した表面形状を示す。粉体ターゲットを用いたにもかかわらず、表面は平坦で2乗平均粗さは、おおよそ10nm前後であった。膜厚は触診式段差系で測定し79nmであった。