[8a-PB4-1~20] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[8a-PB4-3] 高周波スパッタによるポリカーボネートへのAZO薄膜合成とその応用

〇菅原 光星¹、大津 康徳¹ (1.佐賀大工)

キーワード：プラズマ、スパッタリング、AZO