[8a-PB4-1~20] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [8a-PB4-4] RFマグネトロンスパッタリング法で作製したZION薄膜の結晶性に及ぼすガス圧力の影響

〇石 榴¹、宮原 奈乃華¹、山下 大輔¹、徐 鉉雄¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹、板垣 奈穂¹ (1.九州大学)

キーワード：ZION薄膜、スパッタリング