[8p-A204-1~10] これからの未来を担う新ワイドギャップ酸化物材料Ga2O3

[8p-A204-7] コランダム構造α-Ga₂O₃のデバイス化への展望

〇藤田 静雄¹ (1.京大院工)

キーワード：酸化ガリウム、酸化物半導体、ミストCVD

α-Ga₂O₃の特徴、これまでの研究成果をふまえ、今後デバイス化に向けた展望を述べる。この材料の研究を積極的に行っておられる各機関からデータ等の協力をいただき、最近の成果を取りまとめて報告する。