[8p-A301-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [8p-A301-9] MOVPE法によるAlN膜のface-to-faceアニール

〇田中 襲一¹、岡田 俊祐¹、林 侑介²、三宅 秀人^2,1、平松 和政¹ (1.三重大・院工、2.三重大・地域イノベ)

キーワード：有機金属気相成長法、窒化アルミニウム