[8p-PA1-1~27] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[8p-PA1-23] 分子プレカーサー溶液を用いたESD法によるTiO₂膜の成膜 Ⅱ

〇小澤 竜平¹、諏訪園 豊¹、工藤 幸寛¹、永井 裕己¹、佐藤 光史¹、高橋 泰樹¹ (1.工学院大)

キーワード：分子プレカーサー法、光充電型リチウムイオン電池、ESD法