[8p-PA2-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[8p-PA2-11] ミニマルファブを用いたエレクトロスプレースラスタの試作

〇長尾 昌善¹、井上 直樹²、鷹尾 祥典²、辰巳 憲之¹、村上 勝久¹、クンプアン ソマワン^1,3、原 史朗^1,3 (1.産総研、2.横国大、3.ミニマルファブ推進機構)

キーワード：宇宙推進機、イオン液体、ミニマルファブ

近年、50kg以下の超小型人工衛星の打ち上げ数が爆発的に伸びている。この超小型人工衛星の推進機として、イオン液体を用いたエレクトロスプレースラスタが注目されている。本研究では、ミニマルファブを用いてMEMS技術や微細加工技術を駆使して、超高密度なエレクトロスプレースラスタの作製を試みた。