16:15 〜 16:30 △ [17p-211-11] 硬X線光電子分光法によるプラズマ処理を用いたSiNxパッシベーション膜の評価 〇(M1)肥山 卓矢1、小島 拓人1、小椋 厚志1 (1.明治大学理工)