14:30 〜 15:00 [15p-301-4] SiCパワーデバイスにおけるプラズマプロセス 〇原田 信介1、吉岡 裕典1、纐纈 英典1,2、小杉 亮治1、加藤 智久1 (1.産総研、2.三菱電機)