16:15 〜 16:30 [14p-423-12] 屈折率分布型レンズアレイを用いた投影露光リソグラフィにおける露光フィールド内パターン形成特性の均一化 〇堀内 敏行1、佐藤 貴紀1、小林 宏史1 (1.東京電機大)