16:00 〜 18:00 [15p-P14-9] RFマグネトロンスパッタ法を用いたSrTa2O6薄膜の作製と評価 〇高橋 崇典1、宝賀 剛1、安井 寛治2、末松 久幸2、浦岡 行治3、内山 潔1 (1.鶴岡高専、2.長岡技科大、3.奈良先端大)