13:30 〜 15:30 [16p-P2-5] AlN薄膜構造へのMgおよびNbの添加の影響 〇重本 北斗3、秋山 守人1、山田 浩志1,3、會田 康弘2、梅田 圭一2、上原 雅人1,3 (1.産総研、2.村田製作所、3.九大院総理工)