10:45 〜 11:00 [15a-F201-7] 酸素雰囲気での超高温RTPによる点欠陥の導入挙動 (I) 〇前田 進1、岡村 秀幸1、中村 浩三3、須藤 治生1、末岡 浩治2 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.岡山県大 情報工、3.岡山県大 地域共同研究機構)