13:30 〜 13:45 △ [14p-423-2] p-クロロ-α-メチルスチレンを有したポジ型電子線レジストの露光特性の組成比依存性 〇落合 俊介1、髙山 智寛1、岸村 由紀子1、浅田 裕法1、岩熊 美奈子2、園田 愛恵2、星野 亮一3 (1.山口大、2.都城高専、3.ファインマテリアルシステム)