10:00 〜 10:15 [14a-F201-4] 酸素拡散を考慮したシリコン単結晶中の転位密度解析 〇中野 智2、福島 航1、原田 博文2、宮村 佳児2、柿本 浩一1,2 (1.九大院工、2.九大応力研)