14:00 〜 14:15 [16p-503-2] 水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法で作製したInGaN/GaNナノ構造の形状に対するアンモニアガス導入効果 〇(B)松岡 明裕1、水谷 友哉1、石嶋 駿1、小川 航平1、生江 祐介1、菊池 昭彦1,2 (1.上智大・理工、2.上智大ナノテクセンター)